クリーンブースの基本構造は？

弊社のクリーンブースの基本構造は、アルミフレームを骨組みとして、周囲をビニールカーテンで覆い、その天井部分にFFU（ファン・フィルター・ユニット）を搭載して、綺麗な空気をブース内に供給していきます。
ブース内の空気は、FFUからの供給空気に押し出され、ブースの下側から吐き出されていきます。
それによって、ブース内の塵埃濃度が希釈され、結果として、清浄化が進んでいく、という流れになります。

通常、クリーンルーム、クリーンブース内は、外部に対して陽圧の状態を維持し、外部からの塵埃・汚染物質の（逆流による）流入が無い状態になっています。

サイズの別注は可能なの？

お客様のご要望に応じたサイズでの製作が可能です。
【現在ご使用中の装置周囲のクリーン化】や、【組立ラインのクリーン化】、【梱包スペースのクリーン化】など、その現場で必要となるサイズに合わせて製作する事が可能です。

また、サイズに限らず、本体構造をアルミ製からスチール製に変更したり、
防爆仕様や、天吊り仕様、作業員の導線に即した出入口の加工など、各種、様々な仕様への対応が可能です。
ご予算に応じた仕様での提案も致しますので、まずはお気軽にお問合せください。

クリーンブースのクラスは？

まずは、お客様の希望されるクラスに応じた【換気回数】を前提に仕様を決定していきます。
基本的には、『クラス100』～『クラス100.000』程度での対応となります。
『クラス10』の環境が必要という場合には、別途、お打合せが必要となります。

換気回数って何？

換気回数とは、対象となる空間に1時間あたりに供給される綺麗な空気の量を部屋の容積で割ったものです。1時間あたりに何回、部屋の空気が入れ替わったのかを表します。

計算式は以下の通りです。
清浄化された空気の供給量(立米／分) × ６０(分) ÷ 部屋の容積(床面積×高さ＝立米) ＝ 換気回数(回／時)

弊社における換気回数の基準は以下の通りです。
詳細はコチラ

尚、弊社の換気回数は、旧米国連邦規格をベースとして、経験に基づいて設定しております。

ビニールカーテンってどんなもの？

一般的には、帯電防止性のビニールシート（0.5mm厚）を加工して製作します。
通常は透明シートで製作しますが、暗室仕様や、UVカット仕様などの対応も可能ですのでお問合せください。
また、あおり防止の為に鎖を付属させたり、利便性向上の為にファスナーを付属させる事も可能です。

また、ビニールカーテンに限らず、帯電防止性の樹脂パネルや、アルミパネル、ステンレスパネル、サンドイッチパネルなど、お客様のご要望に応じた仕様での製作が可能です。

クリーンブースは持っているんだけど、ビニールカーテンだけの販売は可能なの？

ビニールカーテンのみでも販売が可能です。
ビニールカーテンは、長期に使用しますと劣化してきます。
黄ばんだり、破れてしまっていたりしたビニールカーテンは、非常に見栄えが悪い為、交換する事をお勧め致します。
現在ご使用されているビニールカーテンの仕様をお教え頂けましたら、
交換用のビニールカーテンとして単品でもお見積致します。

クリーンブースでも温度・湿度の管理は可能なの？

クリーンブースを構成する素材（ビニール・パネルなど）の種類によっては、素材の断熱性の問題から、厳密なコントロールを実施する事が難しくなりますが、クリーンブースに対して空調機を取り付ける事は可能です。

恒温、恒湿の空気を発生させる装置を取り付け、クリーンブースを循環させる方法や、ダクト方式で、空調した空気を供給し続ける（多くの場合はダダ漏れです）方法を採用する場合もあります。
また、コストダウンを目的として、温度コントロールのみを実施し、湿度に関しては成り行きにする場合もあります。

クリーンブースを設置する周囲環境によっても、温度・湿度コントロールの難度が変わってまいりますので、まずはどの程度の環境が必要になるのかをお教え頂きたく存じます。

HEPAフィルターって何？

高性能フィルターの事で、0.3μmの塵埃を99.97％以上除去します。
クリーン環境へ使用する一般的なフィルター。
【High Efficiency Particulate Air Filter】の略。
このフィルターを通した風は基本的にはクラス100以下。
フィルタの最終圧力損失は、一般に新品時の初期圧力損失の2～3倍と言われています。
特殊ガラス繊維で出来ており、使用環境にもよりますが、交換スパンは1年～2年が目安となります。
このフィルターは、再生ができず、交換対応となります。

殺菌酵素HEPAフィルターって何？

天然酵素の溶菌作用により、一旦捕集した細菌やカビなどの微生物を強力に殺菌します。
HEPAフィルターの繊維上に、特殊な酵素を定着させています。
単純なイメージとしては、【殺菌作用のあるHEPAフィルター】となります。
複数の国で国際特許を取得したフィルターを使用しています。
製薬業界、食品・飲料工場、医薬品工場、病院・医療施設など、微生物の二次汚染を気にする現場で採用されております。

殺菌酵素HEPAフィルター商品紹介はこちら >>

ULPAフィルターって何？

超高性能フィルターの事で、0.1μmの塵埃を99.9995％以上除去します。
【Ultra Low Penetration Air Filter】の略。
HEPAフィルターの粒子捕集効率を上げる為に濾材密度を高め、空気抵抗を減らす為に厚みを薄くさせたもの。その為、HEPAフィルターに比べて強度が弱い。
クラス100以下（クラス10、クラス1など）の環境を目標としたり、塵埃に対して非常にデリケートなワークを取扱う現場で使用される場合が多いです。
特殊ガラス繊維で出来ており、通常はクリーン度の高い環境で使用する場合が多い為、寿命としては3～5年程度が一般的です。再生はできず、交換対応となります。
半導体洗浄装置など、装置の内部へ組み込まれるケースもあります。

『HEPAフィルターとULPAフィルターのどちらを採用すれば良いの？』というお問合せを頂戴するケースがしばしばありますが、スペック的にHEPAフィルターで十分、という場合も多いです。

PTFEフィルターって何？

半導体・液晶などの業界における、ハイスペックなクリーン環境を求める現場においては、
HEPAフィルターなどに用いられるガラス繊維ろ材フィルタからの【ボロン】発生が問題になる場合（工程）があります。
この問題を解決するために、フィルター材質にガラス繊維ろ材ではなくPTFEを用いることで、ボロンの発生をなくしています。

また、低圧損で高効率であることに加え、耐薬品性にも優れるため、
幅広い分野での使用が可能ですが、素材にPTFEを使用している為、HEPAフィルターなどと比較すると若干高価です。　　

ケミカルフィルターって何？

ケミカルフィルターとは、分子レベルの空気汚染の除去に対して使用されるフィルターです。

ここでいう汚染とは【分子状汚染物質：AMC（Airborne Molecular Contamination）】の事をいい、
このAMCは、クリーンルームや研究室を構成する、【コンクリート】・【塗料】・【電線・ケーブル】・【シール材】などの建築素材からも発生する物質で、非常に精密な製品である半導体などの製造施設においては、これらのAMCの発生が製造に影響を与える事が確認されています。

半導体製造施設など、クリーンルームの基準が厳しく定められているケースでは、エアフィルターと併せてケミカルフィルターの併用も必要となってきます。

また、分子レベルの影響が測定結果に出てしまうような分析装置に対してもケミカルフィルターで汚染となる物質を除去した空気を周囲に吹き出す必要がでてきます。

また、このAMCは、塵埃を除去する為に設置するエアーフィルターの濾材などからも発生する事が確認されています。そ� ��為、半導体製造施設においてはAMCを発生しにくい内装材を使用する規定などの他、AMCを除去する性能をもつ【ケミカルフィルター】を使用する必要が出てきます。

尚、前述の【PTFEフィルター】は、【ボロン】を発生させない為のフィルターですので、
AMC対策の一つにはなりますが、ケミカルフィルターとは異なりますのでご注意下さい。

中性能フィルターって何？

簡易クリーンルーム用やプレフィルターとして使い、捕集効率としては比色法で95％・90％・65％などの種類があります。
MEPAフィルター【Medium Efficiency Particulate　Air filter】とも呼ばれます。
主として粒径が、5μｍより小さい粒子に対して中程度の粒子捕集率を持つエアフィルター。
HEPA・ULPAといった最終フィルターの前処理用として使用する場合が多いです。
『フィルターは付属していて欲しいがクリーン度には全く拘らない』という現場では、このフィルターで十分な場合もあります。
この場合、0.5μｍの粒子径での評価規格が無い為【中性能フィルター使用⇒クラスが幾つ】という評価は　パーティクルカウンターなどで測定した実測値での評価となります。

プレフィルターって何？

HEPAフィルターを通す前に設置する前処理用の粗フィルターです。
外気取り入れ口に取付け、主に粒子径50μｍ以上の大きなゴミを対象にし、HEPAフィルターの負担を軽減します。
一般空調のフィルターと同じように、掃除機でゴミを取ったり水洗いする事が可能です。
定期的に洗浄する事で、メインフィルターの寿命が延びます。
一般的に、補修効率が最高値の８５％まで低下したら寿命と言われております。

フィルターボックスって何？

フィルターを取り付けた機密性の高いボックスです。フィルターユニット【FU（Filter Unit）】といいます。
通常クリーン化したい部屋の天井に設置し、ダクトを取付け、ファンで空気を送り込みます。
このFUにファンを組み込んだ製品が、ファン・フィルター・ユニット【FFU（Fan Filter Unit）】です。

エアーシャワーって何？

クリーンルーム、クリーンブースなどの出入り口に設置し、入室者の衣服に付いたゴミを約20～25m/sのジェット気流で除去し、クリーン環境への塵埃の持込を防ぎます。

クリーン側と汚染側の扉が同時に開いてしまい、汚染空気がクリーン側に流れ込むのを防ぐ為に、汚染側の扉が閉まらなければ、クリーン側の扉が開かない【インターロック】という機構を組み込む事で、外部の汚れた空気の進入を防ぎます。
それによって、クリーン環境と、そうでない環境とを、エアーシャワーによって分断する事が可能です。

エアーシャワーの別注で可能なの？

規格仕様はありますが、基本的にはお客様のご要望に応じたオーダーメイドでの製作となります。
その為、ご希望のサイズに変更したり、材質、扉などを変更する事も可能です。
まずはお気軽にお問合せください。

クリーンベンチ、バイオクリーンベンチ、バイオハザード対策キャビネットの違いは何？

【クリーンベンチ】
周囲からの塵埃・微生物といった異物混入を防ぐ為に、HEPAフィルターを通した綺麗な空気を作業スペースに吹き付けます。
庫内は陽圧（内側の気圧が、外側よりも高い状態）になっています。

【バイオクリーンベンチ】
クリーンベンチと同様に、HEPAフィルターを通した綺麗な空気を作業スペースに吹き付けます。 しかし、通常のクリーンベンチとは異なり、吹き付けられた空気は作業面下に吸い込まれ、本体内部を循環します。
循環した空気の一部は、再度給気用のHEPAフィルターを通じてダウンフローします。
また他の一部は、排気用のHEPAフィルターを通じて室内に排気されます。
前面サッシ開口部からは、ベンチ内に空気が流入します。
弊社ピュアスペースブランドのバイオクリーンベンチは、庫内は弱陰圧（内側の気圧が、外側よりも若干低い状態）仕様です。

【バイオハザード対策キャビネット】
以前は、安全キャビネットとも呼ばれていました。
HEPAフィルターで濾過した排気を行う事により、庫内を常に陰圧に保ち、実験操作中に発生する汚染・有害物質（危険度の高い病原微生物など）が外に流失する事を防ぎます。
完全に陰圧の為、庫外の空気も作業面を通って吸引・排気されます。
バイオハザードレベルにもよりますが、クラスⅡAまでは室内排気で対応可能ですが、ⅡB、Ⅲといったレベルになると室外排気が必要になります。

メンテナンスの対応は可能なの？

清浄度測定、フィルター交換など、各種メンテナンス対応が可能です。
クリーン環境の維持管理の為には、日々及び定期のメンテナンス活動は必要不可欠です。
まずはお気軽にお問合せください。

メンテナンスの詳細はこちら >>

クリーン環境の気流がどうなっているか知りたいのだけど簡易的にチェックできるものはあるの？

クリーンルーム、クリーンブースなどの気流が、どの様な状況になっているのかを把握する事は非常に重要です。気流を可視化する方法としては、大きく下記の様なものがあります。

①タフト法
絹糸を蛍光塗料で煮て染色したものを垂らし、その糸の揺れ方で気流を確認する。
②ミストトレーサー法
気流可視化装置という、純水ベースのミスト発生装置を使用して、そのミストの動きを目視で確認し、気流の状態をチェックします。
③超音波風速計
超音波風速計を使用して、3次元で気流の状態を測定します。
その測定データは、パソコン画面上で確認する事が可能です。
④微粒子可視化
気流ではなく、その気流によって漂う微粒子（いわゆる塵埃）を可視化する技術です。
特殊なレーザー光の膜を作成し、そこを横切る微粒子の散乱光を撮影する技術や、暗室内で特殊な光源を照射して微粒子の動きを目視する方法などがあります。

弊社カタログ上には、②の製品を掲載しております。
⇒　クリーン環境用機器パンフレット Vol.2　P39　に掲載しております。
使用方法は簡単ですので、定期的な気流確認が容易に行う事が可能です。

気流可視化装置の詳細はこちら >>

アズワンで搬入・組立などは対応が可能なの？

全国各地に提携の業者がおりますので、日本国内であれば対応が可能です。
まずはお気軽にお問合せください。

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